Programme doctoral AMUtech 2026 - Partie 2 : Nanofabrication et nano-ingénierie
Du 10 novembre au 14 décembre 2026 - Campus Saint-Jérôme et Luminy - Marseille
OBJECTIF
L’Institut AMUtech propose la deuxième partie de son programme doctoral 2026 « Matériaux avancés et nanotechnologies », consacrée à la nanofabrication et à la nano-ingénierie.
Cette formation vise à familiariser les participants avec les principales méthodes d’élaboration, de fabrication et d’intégration des nanomatériaux et des dispositifs nanotechnologiques. Elle associe des enseignements théoriques à des travaux pratiques sur les plateformes technologiques d'Aix-Marseille Université.
PUBLIC CIBLE
Conçu pour être transversal et accessible sans prérequis spécifiques, le programme s’adresse principalement aux doctorants en physique, chimie et sciences de l’ingénieur souhaitant approfondir leurs connaissances et élargir leurs compétences.
Il est également ouvert aux étudiants de master, aux ingénieurs et aux chercheurs intéressés par les nanotechnologies.
COMPÉTENCES VISÉES
À l’issue de cette formation, les participants auront acquis une meilleure compréhension des principales techniques de nanofabrication, de leurs possibilités et de leurs limites. Ils seront en mesure d'identifier les méthodes adaptées à l’élaboration, à la caractérisation et à l’intégration de nanostructures dans des dispositifs technologiques.
LES COURS
I. MÉTHODES DE NANOFABRICATION (11 H)
Ce premier module présente les principales méthodes de fabrication des nanomatériaux, depuis les approches ascendantes (bottom-up) et descendantes (top-down) jusqu’aux méthodes de chimie douce et électrochimiques. Les enseignements s’appuient sur les techniques et équipements disponibles au sein des plateformes technologiques d’Aix-Marseille Université.
I.1 / Méthodes ascendantes (PVD, CVD, ALD), Luc FAVRE - Mardi 10 novembre 2026, de 16h à 18h : Présentation des principales techniques de dépôt de couches minces à l’échelle nanométrique et de leurs applications, notamment en microélectronique.
I.2 / Méthodes descendantes (lithographie, RIE), Igor OZEROV - Jeudi 12 novembre 2026, de 14h à 16h : Introduction aux techniques de micro- et nanofabrication en salle blanche : lithographie optique et électronique, gravure et dépôt, avec des exemples d’applications en biophysique, photonique et sciences des matériaux.
I.3 / TP Lithographie (4 places), Igor OZEROV - Lundi 16 novembre 2026, de 9h à 12h : Travaux pratiques en salle blanche consacrés aux étapes de microfabrication : dépôt d’une couche mince métallique, lithographie, gravure par plasma et caractérisation des structures obtenues.
I.4 / Méthodes de chimie douce (supramoléculaire, sol-gel, colloïdes), Éric BESSON - Mercredi 25 novembre 2026, de 14h à 16h : Présentation des méthodes d’élaboration de matériaux à basse température et des mécanismes permettant de maîtriser leur composition, leur structure et leurs propriétés.
I.5 / Méthodes électrochimiques (élaboration de revêtements et nanostructurations), Luca PASQUINI - Jeudi 26 novembre 2026, de 14h à 16h : Introduction aux procédés d’électrodéposition et de nanostructuration électrochimique, ainsi qu’aux paramètres permettant de contrôler les propriétés des matériaux élaborés.
II. NANO-INGÉNIERIE ET INTÉGRATION (9 H)
Ce deuxième module porte sur les propriétés optiques des nano-objets, l’intégration de fonctions dans les dispositifs et les applications de la nanophotonique. Il comprend également des travaux pratiques sur des équipements de nanofabrication et de caractérisation.
II.1 / Optical spectroscopy at the nanoscale, Jérôme WENGER - Vendredi 27 novembre 2026, de 14h à 16h : Panorama des réponses optiques des nano-objets (absorption, diffusion, fluorescence, Raman, effets non linéaires) et de leurs applications à la détection optique à l’échelle nanométrique.
II.2 / Intégration de fonctions dans les dispositifs, Rémy VAUCHE - Mercredi 2 décembre 2026, de 14h à 16h : Présentation des étapes de l’intégration des fonctions électroniques, des procédés de microélectronique aux techniques avancées de packaging et d’assemblage 3D.
II.3 / Plasmonics and optical chirality: towards light-controlled asymmetric photocatalysis, Artur MOVSESYAN - Lundi 7 décembre 2026, de 14h à 16h : Introduction à la plasmonique, à la chiralité optique et à leurs applications pour le contrôle des interactions lumière-matière et des réactions photochimiques.
II.4 / TP Lithographie électronique ou TP Microscopie FIB-SEM (3 places), Frédéric BEDU – Lundi 14 décembre 2026, de 9h à 12h : Travaux pratiques permettant de découvrir des techniques avancées. Lithographie électronique : réalisation de motifs nanométriques à l’aide d’un faisceau d’électrons focalisé, depuis la préparation des échantillons jusqu’à la caractérisation. OU Microscopie FIB-SEM : introduction aux principes et applications du faisceau d’ions focalisé pour la préparation, la modification et la caractérisation des matériaux à l’échelle nanométrique.
Lieu des cours : salle 1 Étoile Nord, campus Saint-Jérôme, Marseille, à l’exception des TP, organisés à la plateforme PLANETE à Luminy.
